Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Dhakal, Dileep ; Waechtler , Thomas ; Melzer, Marcel ; Mothes, Robert ; Schulz, Stefan E. ; Lang, Heinrich ; Gessner, Thomas
In-situ XPS investigation of the surface chemistry of a Cu(I) Beta-Diketonate precursor with reference to the ALD of Cu2O
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| URL/URN: | http://www.tu-chemnitz.de/physik/AFKO/FKA17/FKA17-Dateien/poster.html | |
| Quelle: | Festkörperanalytik (FKA 17), Chemnitz (Deutschland), 2013 Jul 1-3, 2013 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Cu(I) Beta-Diketonate , XPS investigation |
