Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hofmann, Lutz ; Schubert, Ina ; Ecke, Ramona ; Gottfried, Knut ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
Vertical Integration techniques for MEMS using HAR TSV
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
ISBN/ISSN: | 978-3-8007-3490-0 | |
Quelle: | Smart Systems Integration, Amsterdam (NL), 2013 Mar 13-14, 2013. - Berlin: VDE-Verlag, 2013. - CD-ROM | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS, HAR TSV |