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Universitätsbibliothek
Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Hofmann, Lutz ; Schubert, Ina ; Ecke, Ramona ; Gottfried, Knut ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas

Vertical Integration techniques for MEMS using HAR TSV


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Professur Smart Systems Integration
Dokumentart: Konferenzbeitrag, nicht referiert
ISBN/ISSN: 978-3-8007-3490-0
Quelle: Smart Systems Integration, Amsterdam (NL), 2013 Mar 13-14, 2013. - Berlin: VDE-Verlag, 2013. - CD-ROM
Freie Schlagwörter (Englisch): MEMS, HAR TSV

 

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