Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Haidu, Francisc ; Gordan, Ovidiu-Dorin ; Zahn, Dietrich R. T.
In situ Ellipsometric Study of Copper Growth on Silicon
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0040-6090 (print), 1879-2731 (online) | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2012.02.060 | |
| Quelle: | In: THIN SOLID FILMS . - 520 . 2012 , 13 , S. 4410 - 4417 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | In situ spectroscopic ellipsometry , Copper , Surface plasmon resonance , Effective medium approximation , Electron mean free path , Oxidation |
