Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Koseva, R. ; Mönch, I. ; Meier, D. ; Schumann, J. ; Arndt, K.-F. ; Schultz, L. ; Zhao, B. ; Schmidt, Oliver G.
Evolution of hillocks in Bi thin films and their removal upon nanoscale mechanical polishing
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Materialsysteme der Nanoelektronik | |
Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
ISBN/ISSN: | 0040-6090 (print), 1879-2731 (online) | |
URL/URN: | doi:10.1016/j.tsf.2012.04.040 | |
Quelle: | In: Thin Solid Films . - 520 . 2012 , 17 , S. 5589 - 5592 | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | Bismuth ,Thin films , Hillocks , Nanoscale mechanical polishing , Hall sensors |