Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Seidel, F. ; Ding, L. ; Gordan, Ovidiu-Dorin ; Zahn, Dietrich R. T.
Multi-Phase Model for Reflection Anisotropy Spectra of Copper Phthalocyanine Films on Anisotropic Silicon Substrates
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 2166-2746 (print) , 2166-2754 (online) | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1116/1.3677823 | |
| Quelle: | In: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY B MICROELECTRONICS AND NANOMETER STRUCTURES . - 30 . 2012 , 1 , 012401-1 - 012401-6 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | copper compounds , ellipsometry , light interference , organic semiconductors , reflectivity , semiconductor thin films , surface roughness |
