Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Mueller, Steve ; Waechtler, Thomas ; Tuchscherer, André ; Mothes, Robert ; Gordan, Ovidiu ; Lehmann, Daniel ; Haidu, Francisc ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas ; Lang, Heinrich ; Zahn, Dietrich R. T.
An approach for Cu ALD via reduction of ruthenium-containing CuxO films for the metallization in spintronic and ULSI interconnect systems
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| URL/URN: | http://www2.avs.org/conferences/ALD/2011/index.html | |
| Quelle: | 11th International Conference on Atomic Layer Deposition, Cambridge, Massachusetts (USA), 2011 Jun 26-29, Oral Presentation; Proceedings DVD-ROM, 2011 |
