Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hafez, Nessma Ibrahim Kamel* ; Haas, Sven* ; Loebel, Kay-Uwe* ; Reuter, Danny* ; Ramsbeck, Marco ; Schramm, Michael ; Horstmann, John Thomas* ; Otto, Thomas
Characterisation of MOS Transistors as an Electromechanical Transducer for Stress
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Adaptronik und Funktionsleichtbau in der Produktion | |
| Institut 2: | Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik | |
| Institut 3: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 1862-6319 ; 1862-6300 | |
| DOI: | doi:10.1002/pssa.201700680 | |
| Quelle: | In: Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science, 216.2019, 19, art. 1700680 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MOSFET , piezoresistive effects , pressure sensor , silicon membranes , system on chip |
