Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Ernst, Daniel* ; Faghih, M. ; Liebfried, R. ; Melzer, M. ; Karnaushenko, D. ; Hofmann, W. ; Schmidt, Oliver G. ; Zerna, T.
Packaging of Ultrathin Flexible Magnetic Field Sensors With Polyimide Interposer and Integration in an Active Magnetic Bearing
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Materialsysteme der Nanoelektronik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 2156-3950, 2156-3985 | |
| DOI: | doi:10.1109/tcpmt.2019.2953830 | |
| Quelle: | In: IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology. - Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE). - 10. 2020, 1, S. 39 - 43 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | elemental semiconductors , flip-chip devices , Hall effect transducers , magnetic bearings , magnetic field measurement , magnetic flux , magnetic sensors , polymers , rotors , semiconductor device packaging , silicon , stators , thin film sensors |
