Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Nabholz, Ulrike ;
Stockmar, Florian ;
Mehner, Jan Edgar ;
Degenfeld-Schonburg, Peter
Lang, Klaus-Dieter (Hrsg.)
Modenkopplung in Mikrospiegeln
Mode coupling in micromirrors
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
ISBN/ISSN: | 978-3-8007-5090-0 | |
Quelle: | MikroSystemTechnik Kongress 2019. - Berlin ; Offenbach : VDE VERLAG GMBH |