Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Forke, Roman ;
Hiller, Karla ;
Hahn, Susann ;
Weidlich, Sebastian ;
Küchler, Matthias ;
Konietzka, Stefan ;
Motl, Tim ;
Praedicow, Alexander ;
Otto, Thomas
Otto, Thomas (Hrsg.)
Low Power High Bandwidth Acceleration Sensors
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-4878-5 , 978-3-8007-4919-5 | |
| Quelle: | SmartSystems Integration : 13th International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems (SSI), 2019 Apr 10-11, Barcelona (Spain), S. 30 - 37. - VDE Verlag GmbH, 2019 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | BDRIE (Bonding and Deep RIE) , MEMS parameters |
