Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Monteiro Diniz Reis, Daniel ; Rzepka, Sven ; Hiller, Karla
AC Reliability of Integrated Low-Temperature PVD PZT Films
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-1-5386-8104-6 , 978-1-5386-8105-3 , 2167-0021 , 2167-0013 | |
| DOI: | doi:10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808421 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/document/8808421 | |
| Quelle: | 2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems & Eurosensors XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII), 2019 June 23-27, Berlin (Germany), Nr 8808421, pp. 1491-1494. - IEEE Xplore Digital Library, 2019 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Piezo-Electric Films , PZT , AC Reliability , DC Reliability , MEMS , Dielectric Breakdown , Unipolar Operation |
