Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Fröhlich, Alexander ; Hofmann, Christian ; Rochala, Patrick ; Kimme, Jonas ; Kroll, Martin ; Kräusel, Verena
Selective Induction Heating of Metallic Microstructures for Wafer-Level MEMS Packaging
Selektive Induktionserwärmung von metallischen Mikrostrukturen für das Wafer-Level MEMS Packaging
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Umformtechnik | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
ISBN/ISSN: | ISSN 2385-2933 , ISBN 978-88-89884-35-5 | |
Quelle: | International Conference on Heating by Electromagnetic Sources Padua (Italy), 22.-24.05.2019, Padua, SGEditoriali Padova, S. 377-382 | |
Freie Schlagwörter (Deutsch): | Induktionserwärmung , MEMS , MEMS Packaging | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | Induction Heating , MEMS , MEMS Packaging |