Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Khan, Muhammad Bilal* ; Deb, Dipjyoti ; Kerbusch, Jochen ; Fuchs, Florian ; Löffler, Markus ; Banerjee, Sayanti ; Mühle, Uwe ; Weber, Walter M. ; Gemming, Sibylle ; Schuster, Jörg ; Erbe, Artur ; Georgiev, Yordan M.*
Towards Reconfigurable Electronics: Silicidation of Top-Down Fabricated Silicon Nanowires
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
Institut 2: | Professur Skalenübergreifende Modellierung von Materialien und Materialverbünden unter externen Einflussfaktoren | |
Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
ISBN/ISSN: | 2076-3417 | |
DOI: | doi:10.3390/app9173462 | |
URL/URN: | https://www.mdpi.com/2076-3417/9/17/3462/htm | |
Quelle: | In: Applied Sciences. - MDPI. - 9. 2019, 17, 3462 | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | Schottky junction , field-effect transistors , nickel silicide , annealing | |
OA-Lizenz | CC BY 4.0 |