Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Heldt, Georg ;
Weiß, Alexander ;
Helke, Christian ;
Erben, Jens W. ;
Kurth, Steffen ;
Meinig, Marco ;
Martin, Jörg ;
Hiller, Karla ;
Reuter, Danny ;
Otto, Thomas
Otto, Thomas (Ed.)
Integration of plasmonic nanostructures for micro-opto-electromechanical-systems
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
ISBN/ISSN: | 978-3-8007-4919-5 ; 978-3-8007-4878-5 | |
Quelle: | Smart Systems Integration, 13th International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems, 2019 April 10-11, Barcelona (Spain). - S. 325-331. - Offenbach, Berlin, Germany : VDE VERLAG GMBH, 2019 | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | tuneable FPIs , wavelength filters | |
Bemerkung: |
_MA!N_ |