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Universitätsbibliothek
Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Ebermann, Martin* ; Neumann, Norbert ; Hoppe, Silke ; Hiller, Karla ; Seiler, Jan ; Helke, Christian ; Meinig, Marco ; Kurth, Steffen

Next Generation of Highly Miniaturized Bulk-Mems Fabry-Pérot Filters For Infrared Microspectrometers


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Dokumentart: Konferenzbeitrag, referiert
ISBN/ISSN: 978-1-5386-8104-6 , 978-1-5386-8105-3 , 2167-0021 , 2167-0013
DOI: doi:10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808566
URL/URN: https://ieeexplore.ieee.org/document/8808566
Quelle: 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems & Eurosensors XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII), 2019 June 23-27, Berlin, (Germany), pp. 470-473. - IEEE Xplore Digital Library, 2019
Freie Schlagwörter (Englisch): Optical filters , Detectors , Optical device fabrication , Tuning , Optical reflection , Optical sensors , MEMS Fabry-Pérot tunable filter , infrared micro-spectrometer , spectral sensor , infrared spectroscopy

 

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