Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Freitag, Markus ;
Auerswald, Christian ;
Wolf, Peter ;
Sorger, Alexander ;
Dienel, Marco ;
Shaporin, Alexey ;
Mehner, Jan
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM)
Entwurf und Test von Acoustic Emission Sensoren basierend auf dem MEMS-Bandpass-Prinzip
Design and Test of Acoustic Emission Sensors based on the MEMSbandpass principle
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Institut 2: | Professur Schaltkreis- und Systementwurf | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-4100-7 | |
| Quelle: | 6. Mikrosystemtechnikkongress Karlsruhe 2015 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", 26.-28.Oktober. - VDE Verlag, 2015, CD-ROM | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Körperschall | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Mems , Bandpass , Acoustic Emission , AE , AE-Sensor |
