Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Sinelnikow, B.M ; Lutz, Josef ; Tarala, V.A. ; Prokoda, T.N. ; Schirmer, Klaus
Synthese und Erforschung der physikalischen Eigenschaften eines a-C:H Filmes, abgeschieden aus dem Radiofrequenzplasma
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Leistungselektronik | |
Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, nicht referiert | |
ISBN/ISSN: | 5929603650 | |
Quelle: | In: Bote der Nord-kaukasischen technischen Staatsuniversität. - 1. 2007, 10, S. 5 - 12 |