Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Klug, Jan ; Lutz, Josef ; Meijer, Jan
n-type doping of silicon by proton implantation
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Leistungselektronik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | E-ISBN : 978-90-75815-15-3 Print ISBN: 978-1-61284-167-0 | |
| URL/URN: | http://ieeexplore.ieee.org/search/srchabstract.jsp?tp=&arnumber=6020656&openedRefinements%3D*%26filter%3DAND%28NOT%284283010803%29%29%26searchField%3DSearch+All%26queryText%3Dn-type+doping+of+silicon+by+proton+implantation | |
| Quelle: | 14th European Conference on Power Electronics and Applications, EPE'11, 30.08.11-01.09.11, Birmingham, 2011, p. 1 - 7 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | deep levels , particle accelerator , ion implantation |
